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淄博山分高純氣分析氣相色譜儀是目前國內在高純氣體分析領域多數采用的熱導(TCD)檢測器由于靈敏度有是限,很難測定5ppm以下的雜質;氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器,只能分析少數幾種氣體雜質;而氬離子檢測器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。隨著國內高純氣體行業的發展和氣體用戶對氣體純度的要求越來越高,以上幾種檢測器已經不能滿足對高純氣體中微量雜質檢測的要求。
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